YH2M8432C / 13B-9L / 8432E / 8436B / 18B高精度縦型両面ラッピングマシン
主な機能:
バルブプレート、リジッドシールリング、オイルポンプブレードなどの金属部品の両面のラッピング/研磨、およびシリコン、ゲルマニウム、石英、ガラスなどの硬くて脆い材料の積層非金属部品のラッピング/研磨に使用されます。セラミック、サファイア、ガリウムヒ素、フェライト、ニオブ酸リチウムなど。
代表的なアプリケーション
この装置は主に、シリコン、サファイア結晶、セラミック、光学ガラス、水晶、その他の半導体材料などの薄い金属および硬くて脆い非金属部品の平行面の両面をラッピングおよび研磨するために使用されます。
主な仕様
モデル | ユニット | YH2M8432C | YH2M13B-9L | YH2M8432E | YH2M8436B | YH2M18B |
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ラッピングプレートサイズ(OD×ID×T) | mm | Ф1070×Ф495×Ф45 | Ф978×Ф558×Ф45 | Ф1070×Ф495×Ф45 | Ф1140×Ф375×Ф45 | Ф1280×Ф449×Ф45 |
プラネタリホイール | P = 15.875 | DP = 12 | P = 16.842 Z = 60 | P = 15.875 Z = 84 | P = 21.053 Z = 71 | |
Z = 64 | Z = 108 | |||||
遊星車輪の数 | n | 3≦n≦7 | 3≦n≦9 | 3≦n≦7 | 3≦n≦5 | 3≦n≦5 |
ワークの最大サイズ | mm | Ф280(診断) | Ф180(診断) | Ф280(診断) | Ф360(診断) | Ф420(診断) |
ワークの最小厚さ | mm | 0.4 | 0.6 | |||
ラップ仕上げされたワークピースの平坦度 | mm | 0.006(Ф100) | ||||
研磨されたワークピースの平坦度 | mm | 0.008(Ф100) | ||||
ラップ仕上げされたワークピースの表面粗さ | Ra0.15 | |||||
研磨されたワークの表面粗さ | Ra0.05 | |||||
全体の寸法(L×W×H) | mm | 1640 1440××2700 | 1650 1300××2650 | 1510 1450××2650 | 1800 1500××2650 | 2200 1750××2690 |
トタックウェイト | Kg | 3500 | 2600 | 3200 | 3000 | 5000 |
タグ
両面ラッピング